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HCII破碎机,第33卷第11期 2006年1 1月 光电工程 0pto—Electronic Engineering 、,01.33.No.11 Nou 2006 文章编号:1003—501x(2006)11—0036—04 引环氧基负性光刻胶加工微结构的试验研究 郑晓虎1,2 (1.淮阴工学院机械系,江苏淮安223001; -2.南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016) 摘要:在正交试验的基础上,将BP神经应用于负性光刻胶(su.8)加工高分辨率和高深宽比微结 构的工艺研究,建立了光刻形质量与前烘时间、前烘温度、曝光量、后烘时间之间的预测模型, 该模型采用三层前向络,学习算法为梯度下降法。通过实验,得出:前烘温度与前烘时间对光 刻质量影n向,对120~340um厚的光刻胶,前烘温度取90℃,前烘时间50~100min时,形 的相对线宽差小;后烘时间(85~95℃)为30min;超声搅拌能缩短显影时间,改善形质量。 试验结果与络预测结果吻合。结果表明,将BP神经络应用于uV—LIGA技术中,可以优化 光刻工艺。 关键词:光刻工艺;Uv LIGA;预测模型;优化 中分类号:TN305.7 文献标识码:A Fabrication of micro—structure by using epoxy—base£I negatiVe photoresist ZHENG X。

HCII破碎机,第33卷第11期 2006年1 1月 光电工程 0pto—Electronic Engineering 、,01.33.No.11 Nou 2006 文章编号:1003—501x(2006)11—0036—04 引环氧基负性光刻胶加工微结构的试验研究 郑晓虎1,2 (1.淮阴工学院机械系,江苏淮安223001; -2.南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016) 摘要:在正交试验的基础上,将BP神经应用于负性光刻胶(su.8)加工高分辨率和高深宽比微结 构的工艺研究,建立了光刻形质量与前烘时间、前烘温度、曝光量、后烘时间之间的预测模型, 该模型采用三层前向络,学习算法为梯度下降法。通过实验,得出:前烘温度与前烘时间对光 刻质量影n向,对120~340um厚的光刻胶,前烘温度取90℃,前烘时间50~100min时,形 的相对线宽差小;后烘时间(85~95℃)为30min;超声搅拌能缩短显影时间,改善形质量。 试验结果与络预测结果吻合。结果表明,将BP神经络应用于uV—LIGA技术中,可以优化 光刻工艺。 关键词:光刻工艺;Uv LIGA;预测模型;优化 中分类号:TN305.7 文献标识码:A Fabrication of micro—structure by 。摘要"研究天然胶乳$椰丝的硫化性能"探讨硫化促进体系和防老化体系对材料性能的影响%结果表明"促进剂.?.!!。

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HCII破碎机,铁矿石磨粉机械多少钱一台铁矿石业西部市场的开辟,需求机械行业的助力推进。在矿业的开采应用加工中破裂机制砂机细碎机磨粉机等破碎摧毁设备是必不成少的,其在机械行业也占主导位置,这一系列设备是将原矿石加工成多个行业所需资料制品的必经流程所需设备。所以铁矿石市场的开辟,不只带动了机械行业的开展,更是了破裂机等破碎摧毁设备。铁矿石作为生产钢铁主要的原材料之一,其发展状况对于钢材的发展有着非常大的影响,而钢材的发展又可促进铁矿石矿的发展。我国是钢铁生产大国,也是铁矿石消费大国。随着经济高速发展,我国对于铁矿石的需求大幅增加。QQ上海天津和北京等以出口为主的城市钢铁使用量已经达到。在选矿厂中,破碎和磨碎作业的设备投资生产费用电能消耗和钢材消耗往往所占的比例,所以破碎机和磨粉机的质量和性能直接影响选矿厂的经济效益。由于铁矿石硬度较大,不易破碎且对磨蚀性较强,同时选矿工艺流程也应尽可能的高效简单,尽可能以合适的流程取得的效果,因此,铁矿石破碎机的选择显得尤为重要。。铁矿石作为生产钢铁主要的原材料之一,其发展状况对于钢材的发展有着非常大的影响,而钢材的发展又可促进铁矿石矿的发展。我国是钢铁生产大国,也是铁矿石消费大国。随着经济高速发展,我国对于铁矿石的需求大幅增加。上海天津和北京等以出口为主的城市钢铁使用量已经达到韩国等发达国家的水平,但真正具有吸引力的是。铁矿石矿场的开拓离不开一。

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